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氮化锰的主要应用

来源Qhttp://www.zhengbodiaosu.com/news928499.html发布旉Q?022/2/16 0:00:00

氮化?/strong>中间合金产品的研I对金属锰深加工产业h重要的现实意义及l济价倹{由于锰、的各U作用,在炼刉强度钢、不锈钢、耐热钢时需要同时加人锰、元素。以单质形式加入锰、两种元素Ӟ存在如的溶解度低、密度小、不易加入及氮的d量不易控制等~点。然而,以锰化合物形式加入Ӟ不仅易于加入Qƈ且锰、的利用率也高Q因此研I?a href="/protype114916.html" target="_blank">氮化?/strong>的制备工艺有着重要意义Q同Ӟ氮化?/strong>制品市场前景q大?

氮化锰的主要应用
    传统的Mn基阻挡层主要通过PVD共沉UCuMn复合材料Q然后用热退火处?使Mn扩散至介质表面来实现。但是,在退火过E中QCu与low-kQ比如SiCOHQ介质直接接触, 会(x)DCu在介质材料中扩散Q而且形成的MnSixOy薄膜导电(sh)性较差,一般ؓ(f)l缘体,?x)导?RC延迟增加?br />      CN201810068633?克服了传l方法制备的Mn基阻挡层的不I提出一U导甉|良好,薄膜厚度******可控Q薄膜的l成和厚度均匀Q且可以在三l结构中实现均匀覆盖的MnxNy薄膜Q其中x和y分别代表Mn和N在薄膜中的相对原子比Q制备方法,q且与目前集成电(sh)路后?Cu互连技术相兼容Q具有很好的市场应用前景?br />      以上的资料是编ȝ的相x化锰的主要应用的一些资料,希望对大家有所帮助Q大家如果想要了解更多的话,可以x我们的网站,编看到?x)及时回复的?br />

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